KT140XY

KT140系列设计特性：

纳米级定位精度

高动态性能（截止频率大于100Hz）

交叉滚子导轨

灵活的配置选项（XY可定制不同行程）

分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm

在位稳定性10nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

产品与应用描述

KT140XY系列是纳米级定位精度的XY一体式运动平台，直线电机驱动，采用交叉滚子导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。KT140XY采用XY一体化设计，具有低侧向高度、阿贝误差小的特点，XY行程可以根据客户需求定制，可作为二维平台单独使用，也可以与Z轴升降台或者转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户的应用需求。

KT140XY系列运动平台虽然结构紧凑但是具有较强的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，KT140XY系列平台的在位稳定性10nm，最小步进量小于5nm，主要应用于光纤耦合、半导体检测、生物医疗基因测序以及激光微纳加工。

精巧的结构设计保证了KT140XY系列平台出色的定位精度和动态性能，尤其在速度稳定性要求严苛的应用中，例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s，运动距离130mm，KT140系列匀速段跟随误差±100nm。

规格参数

备注：
（1）适配-AS反馈，以及16位反馈细分；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；

产品配置选项