光子集成芯片与光波导加工解决方案

相较于电子集成芯片，光子集成芯片（PICs）具有体积小、速度快、稳定性高、抗干扰能力强的优势，在量子计算、信息处理等方面具有重要应用。飞秒激光直写技术是一种利用聚焦的激光焦点与材料间产生的非线性效应来改变材料性质的微纳加工技术，具有精度高、材料使用范围广和真三维等特点。所以飞秒激光直写光波导成为实现紧凑PICs的重要技术手段。科途创新开发的的高精度运动平台 2D 精度出众、跟踪误差小，Z轴结构紧凑动态性能好，可以很好的完成光波导、光子芯片、光栅等激光加工。

光波导轨迹规划功能介绍

要完成精密的平面或三维光波导光路刻写，除了高精度运动平台外科途创新还根据客户的实际应用开发除了平面和三维轨迹规划算法方案，利用高阶多项式拟合，加速度连续可控，无冲击，轨迹光滑且轮廓精度高，速度恒定无冲击，改质效果一致性好，可以实现极小的光功率损耗。以下是轨迹规划案例可参考：

图示为一典型的平面光波导分路器的几何拓扑

图示为单路光波导路径规划

图示为单路光波导路径规划，绿色曲线代表轨迹运动中的速度曲线，可以看出在加工过程中速度可以保持匀速

图示为一典型的fan out 光波导路径规划

飞秒激光直写空间1*3分束器

综上所述，科途创新以应用为导向针对光波导刻写应用可提供完整的解决方案，配合电机设计技术、电缆管理技术、精密运动平台和轨迹规划算法等均可根据客户需求提供客制化的完整解决方案。欢迎客户来电咨询洽谈合作。